洁净室物流系统
 
 
洁净室自动仓储(STOCKERS)
适用于洁净等级较高的环境,可作为各设备间货物的转运站或暂存区域。

 
 
卡匣输送线
适用于整个卡匣的跨区搬送,如OHCV、MGV...等。